Home » อุตสาหกรรมที่ให้บริการ » อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์
โซลูชันด้านอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ | ระบบอัดอากาศ ไนตรัสออกไซด์ และ UPW สำหรับห้องคลีนรูม | ดอมนิค ประเทศไทย
Domnick Thailand · เป็นส่วนหนึ่งของ RS Group

อิเล็กทรอนิกส์และ
โซลูชัน เซมิคอนดักเตอร์

ตั้งแต่ระบบอัดอากาศบริสุทธิ์พิเศษในโรงงานผลิตเวเฟอร์ ไปจนถึงการคลุมด้วยไนโตรเจนในกระบวนการประกอบแผงวงจรพิมพ์ ระบบระบายความร้อนที่แม่นยำสำหรับกระบวนการพิมพ์หิน และการบำบัดน้ำด้วยรังสียูวีสำหรับระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ — เราส่งมอบโซลูชันสาธารณูปโภคแบบครบวงจรสำหรับสภาพแวดล้อมด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการความแม่นยำสูงที่สุดในโลก

✓ พร้อมใช้งานในห้องคลีนรูมระดับ ISO Class 1–5 ✓ ใช้ได้กับน้ำ UPW / DI ✓ เทคโนโลยีไร้น้ำมัน ✓ การจัดแนวมาตรฐานแบบกึ่ง ✓ การควบคุมการปนเปื้อนระดับซับนาโนเมตร
ภาพรวมระบบสาธารณูปโภคของอาคาร CLEANROOM ISO CLASS 3–5 AIR SYS Class 0 N₂ GEN 99.999% UPW SYSTEM RO → UV → DI CHILLER ±0.1°C UV SYS 254+185nm 12 INTEGRATED SEMICONDUCTOR UTILITIES
✓ พร้อมสำหรับการผลิตเวเฟอร์ ✓ การประกอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB) ✓ ระบบ UPW
โซลูชัน 12 ระบบบำบัดน้ำด้วยรังสียูวีจากอากาศ ของ Utility Solutions
ชั้นโดยสาร ISO 0 อากาศอัดเกรด ปลอดสิ่งปนเปื้อน
เกรด UPW 18.2 MΩ·cm — เข้ากันได้กับ UPW Grade SEMI F57
ความบริสุทธิ์ของ N₂ 99.999 % N₂ การสร้าง PSA ณ สถานที่
บริบทอุตสาหกรรม

เหตุใดการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์จึงต้องการมาตรฐานสาธารณูปโภคที่แตกต่างออกไป

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงนั้นดำเนินการอยู่บนขอบเขตของความเป็นไปได้ทางกายภาพ อนุภาคขนาดเล็กกว่าไมครอนเพียงอนุภาคเดียว บนพื้นผิวเวเฟอร์ก็อาจทำให้ชิปเสียหายได้ ไอระเหยของน้ำมันเพียงเล็กน้อยในอากาศที่ใช้ในกระบวนการก็อาจปนเปื้อนกระบวนการโฟโตลิโทกราฟีได้ การเบี่ยงเบนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้ค่าความคลาดเคลื่อนของมิติที่สำคัญเกินข้อกำหนดได้

ระบบสาธารณูปโภคที่สนับสนุนกระบวนการเหล่านี้ ได้แก่ อากาศอัด ไนโตรเจน การระบายความร้อนในกระบวนการผลิต น้ำบริสุทธิ์พิเศษ และการควบคุมสภาพแวดล้อม ต้องทำงานตามข้อกำหนดที่วัดได้ใน หน่วยส่วนต่อล้านล้านส่วน นาโนเมตร และมิลลิเคลวิน ซึ่งแตกต่างอย่างสิ้นเชิงจากการใช้งานในอุตสาหกรรมอื่นๆ

ที่ Domnick ประเทศไทย เราออกแบบและจัดหาระบบสาธารณูปโภคสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โรงงานผลิตแผงวงจรพิมพ์ (PCBA) โรงงานผลิตแผงจอแสดงผล และผู้ผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (OEM) ทั่วประเทศไทย โดยกำหนดคุณสมบัติให้ตรงตามมาตรฐานที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมนี้

ดัชนีความไวต่อการปนเปื้อน
เวเฟอร์แฟบ
98%
โฟโตลิโทกราฟี
96%
การประกอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB Assembly)
72%
การทดสอบครั้งสุดท้าย
55%
ภาพรวมอุตสาหกรรม

ระบบสาธารณูปโภคแบบบูรณาการสำหรับการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงในประเทศไทย


อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ของประเทศไทย ซึ่งครอบคลุมการผลิตฮาร์ดดิสก์ไดรฟ์ การประกอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB) การผลิตแผงวงจรพิมพ์แบบรวม (PCBA) การผลิตเซมิคอนดักเตอร์กำลังไฟฟ้า และบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ดำเนินงานภายในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อที่เข้มงวด ซึ่งระบบสาธารณูปโภคทุกระบบส่งผลกระทบโดยตรงต่อผลผลิต ประสิทธิภาพการผลิต และคุณภาพของผลิตภัณฑ์

ระบบจ่ายอากาศอัดต้องส่งมอบ อากาศแห้งปราศจากน้ำมันตามมาตรฐาน ISO 8573-1 Class 0 โดยมีจุดน้ำค้างต่ำกว่า -40°C เพื่อป้องกันการปนเปื้อนความชื้นของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่ไวต่อความชื้น ระบบไนโตรเจนต้องมี ความบริสุทธิ์ 99.999% สำหรับการบัดกรีแบบคลื่น การหลอม และการบรรจุภัณฑ์อุปกรณ์ เครื่องทำความเย็นสำหรับกระบวนการผลิตต้องรักษาอุณหภูมิให้อยู่ภายใน ±0.1°C สำหรับอุปกรณ์การพิมพ์หินและการตกตะกอน

ทีมวิศวกรรมของเราออกแบบระบบเหล่านี้ให้เป็นโครงสร้างพื้นฐานด้านสาธารณูปโภคแบบบูรณาการและเชื่อมต่อกัน ไม่ใช่การเลือกใช้อุปกรณ์แบบแยกส่วน เพื่อให้มั่นใจว่าทุกระบบมีส่วนช่วยในกลยุทธ์การควบคุมการปนเปื้อนที่กระบวนการของคุณต้องการ

  • ระบบอัดอากาศที่สะอาดเป็นพิเศษตามมาตรฐาน ISO 8573-1 Class 0
  • เครื่องอบแห้งแบบดูดความชื้นที่มีจุดคายประจุต่ำกว่า -40°C
  • การผลิตไนโตรเจนเหลว (N₂) ณ สถานที่ — ความบริสุทธิ์ 99.999%
  • เครื่องทำความเย็นความแม่นยำสูง — ±0.1°C สำหรับอุปกรณ์สำคัญ
  • การบำบัดน้ำบริสุทธิ์เบื้องต้น (UPW) — ระบบเมมเบรน RO
  • การลดค่า TOC ด้วยรังสียูวีสำหรับระบบหมุนเวียนน้ำบริสุทธิ์พิเศษ
  • การดูดฝุ่นและควันในห้องปลอดเชื้อ
  • การออกแบบและทดสอบระบบอย่างครบวงจร
เหตุใดจึงสำคัญ

ต้นทุนของความล้มเหลวของระบบสาธารณูปโภคใน
การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์


โหมดความล้มเหลว 01 01
การปนเปื้อนของอนุภาคและน้ำมัน

ทุกอนุภาคล้วนมีโอกาสทำให้ชิปทำงานล้มเหลว

ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ อนุภาคขนาดเล็กเพียง ครึ่งหนึ่งของขนาดชิ้นส่วน ก็สามารถก่อให้เกิดข้อบกพร่องร้ายแรงต่อวงจรรวมได้ การปนเปื้อนของน้ำมันจากอากาศอัดที่ไม่ปราศจากน้ำมันจะปนเปื้อนสารไวแสง ทำให้เลนส์สำหรับการพิมพ์แบบลิโทกราฟีสกปรก และส่งผลให้ผลผลิตลดลงอย่างมาก ในเทคโนโลยีการผลิตขั้นสูงที่ต่ำกว่า 10 นาโนเมตร อนุภาคเพียงอนุภาคเดียวต่อการพิมพ์เวเฟอร์หนึ่งครั้งก็สามารถทำลายเวเฟอร์ทั้งชุดที่ มีมูลค่าหลายแสนดอลลาร์ได้

ผลกระทบต่อผลผลิต
  • อัตราผลผลิตเวเฟอร์ลดลงจากมากกว่า 90% เหลือต่ำกว่า 50% ต่อครั้ง
  • อุปกรณ์การพิมพ์หินปนเปื้อน — ต้องปิดใช้งานนานหลายสัปดาห์
  • การปฏิเสธล็อตทั้งหมด — สูญเสียเวเฟอร์มากกว่า 25 ชิ้น
  • การส่งมอบสินค้าไม่สำเร็จและค่าปรับสำหรับลูกค้า
โหมดความล้มเหลว 02 02
ความชื้นและการออกซิเดชัน

ความชื้นทำให้พันธะ พื้นผิว และประสิทธิภาพทางไฟฟ้าเสื่อมลง

ความชื้นในอากาศอัดและสภาพแวดล้อมในกระบวนการผลิตทำให้เกิด การเจริญเติบโตของออกไซด์บนจุดเชื่อมต่อโลหะ ช่องว่างในจุดเชื่อมต่อสายไฟ การแยกชั้นในแผงวงจรพิมพ์ (PCBA) และการกัดกร่อนของหน้าสัมผัสโลหะ ในการบัดกรี ความชื้นในบรรยากาศไนโตรเจนทำให้เกิดการเชื่อมต่อที่ไม่ถูกต้องและการเปียกที่ไม่ดี ในการจัดเก็บและการจัดการเวเฟอร์ ความผันผวนของความชื้นทำให้เกิด ประจุไฟฟ้าสถิต ซึ่งทำลายออกไซด์ของเกต

ผลกระทบต่อกระบวนการ
  • อัตราข้อบกพร่องในการบัดกรีเพิ่มขึ้น — ต้นทุนการแก้ไขงาน
  • ความล้มเหลวของการเชื่อมต่อสายไฟในบรรจุภัณฑ์ IC
  • เหตุการณ์ ESD ที่ทำให้ชั้นออกไซด์ของเกตเสียหาย
  • การไม่ปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านสภาพแวดล้อมในการจัดเก็บ
โหมดความล้มเหลว 03 03
ความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิ

ความคลาดเคลื่อน ±1°C อาจทำให้ขนาดที่สำคัญเปลี่ยนแปลงไปเกินกว่าข้อกำหนด

เครื่องมือโฟโตลิโทกราฟี เครื่องขัดผิวเชิงกลเคมี (CMP) และอุปกรณ์การตกตะกอนทำงานภายใน ช่วงอุณหภูมิ ±0.1–0.5°C การเบี่ยงเบนของอุณหภูมิในน้ำหล่อเย็นในกระบวนการผลิตจะส่งผลต่อการขยายตัวทางความร้อนของชิ้นส่วนทางแสงและขนาดของห้องประมวลผล ทำให้คุณสมบัติที่สำคัญอยู่นอกช่วงอุณหภูมิที่กำหนด ความไม่เสถียรของเครื่องทำความเย็นส่งผลโดยตรงต่อการเปลี่ยนแปลงขนาดเส้นผ่านศูนย์สูตร (CD) และการสูญเสียผลผลิตเชิงพารามิเตอร์ในทุกเวเฟอร์ที่ผ่านกระบวนการในช่วงที่เกิดการเบี่ยงเบนของอุณหภูมิ

แรงกระแทกของอุปกรณ์
  • ความแปรผันของ CD ที่อยู่นอกเหนือขอบเขตข้อกำหนด
  • การสูญเสียผลผลิตเชิงพารามิเตอร์ — ความล้มเหลวทางไฟฟ้า
  • เครื่องมือพิมพ์หิน OOC — ต้องปิดระบบ
  • การหยุดทำงานของการปรับคุณสมบัติความร้อน
โซลูชั่นของเรา

12 หมวดหมู่ยูทิลิตี้สำหรับอุตสาหกรรมการผลิตอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์

เลือกหมวดหมู่ใดก็ได้เพื่อดูรายละเอียดทางเทคนิค ความสามารถในการควบคุมการปนเปื้อน และการออกแบบระบบสำหรับแอปพลิเคชันการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เฉพาะของคุณ

01💨
เครื่องอัดอากาศ

ระบบอัดอากาศแบบไร้น้ำมันที่ได้มาตรฐาน ISO 8573-1 Class 0 สำหรับโรงงานผลิตเวเฟอร์ ห้องคลีนรูม และการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง

สำรวจ
02🔗
ท่อส่งอากาศอัด

ท่อส่งอากาศอัดที่ทำจากสแตนเลสบริสุทธิ์สูงและอลูมิเนียม สำหรับห้องคลีนรูมและโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์

สำรวจ
03🔩
ตัวกรองอากาศอัด

ระบบกรองไอน้ำมัน อนุภาค และความชื้นประสิทธิภาพสูงพิเศษสำหรับคุณภาพอากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ตามมาตรฐาน ISO 8573-1 Class 0

สำรวจ
04💧
เครื่องทำอากาศอัด

เครื่องอบแห้งแบบดูดความชื้นที่ให้ค่า PDP ต่ำถึง -70°C ช่วยกำจัดความชื้นออกจากระบบอากาศในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในทุกโซนของห้องคลีนรูม

สำรวจ
05❄️
ชิลเลอร์

เครื่องทำความเย็นสำหรับกระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูง สำหรับการพิมพ์หิน (lithography), การขัดเงาด้วยความร้อน (CMP), การตกตะกอนด้วยไอระเหย (CVD) และเครื่องมือในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ ที่ต้องการความแม่นยำของอุณหภูมิ ±0.1°C

สำรวจ
06💨
การกรองอากาศสะอาด

ระบบดูดฝุ่นซิลิคอน ควันจากการบัดกรี และไอระเหยของสารเคมี สำหรับพื้นที่การผลิตในห้องคลีนรูมและสภาพแวดล้อมการประกอบแผงวงจรพิมพ์ (PCB)

สำรวจ
07⚙️
ระบบ FCG และ Motion

การควบคุมของเหลวที่มีความบริสุทธิ์สูง ตัวเชื่อมต่อก๊าซในกระบวนการผลิต และชิ้นส่วนการเคลื่อนที่ที่มีความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และโครงสร้างพื้นฐานโรงงานผลิต

สำรวจ
08🧪
Gas Generators

การผลิตไนโตรเจนบริสุทธิ์ 99.999% ณ สถานที่ปฏิบัติงาน เพื่อใช้ในการบัดกรีแบบคลื่น การหลอมแบบรีโฟลว์ การบรรจุภัณฑ์ และการจัดหาก๊าซในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

สำรวจ
09🔬
Process Filtration

การกรองของเหลวระดับซับไมครอนและบริสุทธิ์สูงพิเศษสำหรับสารเคมีในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ ระบบน้ำ DI และการใช้งานในห้องปฏิบัติการเปียกสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

สำรวจ
10🌊
RO เมมเบรน

ระบบบำบัดน้ำเบื้องต้นด้วยเยื่อรีเวิร์สออสโมซิสสำหรับการผลิตน้ำบริสุทธิ์พิเศษที่ให้ค่าความต้านทาน 18.2 MΩ·cm

สำรวจ
11☀️
การบำบัดน้ำด้วยรังสียูวี

การลดปริมาณ TOC ด้วยรังสียูวีและการควบคุมจุลินทรีย์สำหรับระบบหมุนเวียนน้ำบริสุทธิ์พิเศษในกระบวนการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และการทำความสะอาดอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

สำรวจ
12🔦
รังสียูวีสำหรับอากาศและพื้นผิว

การฆ่าเชื้อโรคในอากาศและพื้นผิวด้วยรังสียูวีซีในห้องคลีนรูม สำหรับพื้นที่การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสภาพแวดล้อมการประกอบชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง

สำรวจ
มาตรฐานและการปฏิบัติตามกฎระเบียบ
ไอโอเอส 8573-1 เซมิ เอฟ57 เซมิ เอส2 ห้องปลอดเชื้อ ISO 14644 อีซีอี 60068 มาตรฐาน JEDEC มิล-สเตด-810 ASTM D1193 UPW โรเอสอาร์เอส / รีช

ออกแบบระบบสาธารณูปโภคสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ

วิศวกรด้านระบบอิเล็กทรอนิกส์ของเราให้บริการออกแบบระบบ กำหนดคุณสมบัติ และทดสอบระบบอย่างครบวงจรสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โรงงานผลิตแผงวงจรพิมพ์ (PCBA) และผู้ผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ทั่วประเทศไทย

โปร่งใส

ออกแบบระบบสาธารณูปโภคสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ – วิศวกรระบบสาธารณูปโภคอิเล็กทรอนิกส์ของเราให้บริการออกแบบระบบ กำหนดคุณสมบัติ และทดสอบระบบอย่างครบวงจรสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โรงงานผลิตแผงวงจรพิมพ์ (PCBA) และผู้ผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ทั่วประเทศไทย

DH Line QR