ระบบแอร์คอมเพรสเซอร์
สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์
ปั๊มลมระบบคลีนรูมโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ถูกต้องเริ่มต้นด้วยเทคโนโลยีปลอดน้ำมันที่ได้รับการรับรอง ISO 8573-1 Class 0 ตั้งแต่ต้นทาง ตั้งแต่การผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ไปจนถึงเครื่องผลิตลมสะอาดสำหรับสายการผลิตแผงวงจร แอร์คอมเพรสเซอร์สำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ของเราส่งมอบรากฐานลมอัดที่ปราศจากการปนเปื้อนและแห้งอย่างแม่นยำที่ทุกกระบวนการอิเล็กทรอนิกส์ความแม่นยำสูงต้องการ
ทำไมระบบลมอัดคุณภาพสูงจึงเป็นแนวป้องกันการปนเปื้อนด่านแรกในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ในการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เครื่องอัดอากาศมาตรฐานอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ความแม่นยำสูงสัมผัสกับเวเฟอร์ ห้องกระบวนการ เครื่องมือนิวแมติกส์ และระบบจัดการในทุกขั้นตอนการผลิต ไอน้ำมัน ความชื้น หรืออนุภาคปนเปื้อนในลมอัดแม้เพียงเล็กน้อยก็สร้างข้อบกพร่องที่ลดผลผลิต die โดยตรง นี่คือเหตุผลที่การกำหนดข้อกำหนดระบบลมอัดคุณภาพสูงโรงงานชิปที่มีเทคโนโลยีปลอดน้ำมันตั้งแต่ต้นทาง คือการตัดสินใจด้านระบบสาธารณูปโภคที่สำคัญที่สุดในโรงงาน fab หรือสถานผลิตอิเล็กทรอนิกส์ใดก็ตาม
ปั๊มลมแรงดันคงที่โรงงานเวเฟอร์ต้องส่งมอบลมอัดปลอดน้ำมัน ISO 8573-1 Class 0 ที่แห้งพิเศษตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์ โดยไม่ยอมรับเหตุการณ์ปนเปื้อนใดทั้งสิ้น ต่างจากคอมเพรสเซอร์แบบฉีดน้ำมันที่อาศัยการกรองปลายทาง เครื่องอัดอากาศปลอดน้ำมันไมโครอิเล็กทรอนิกส์ขจัดความเสี่ยงการปนเปื้อนทั้งหมดตั้งแต่ต้นทาง ไม่มีตัวแยกน้ำมันที่จะล้มเหลว ไม่มีการเปลี่ยนไส้กรองที่สร้างเหตุการณ์ปนเปื้อนระหว่างบำรุงรักษา
สำหรับการประกอบ PCB และการผลิต PCBA เครื่องผลิตลมสะอาดสำหรับสายการผลิตแผงวงจรขับเคลื่อนเครื่อง pick-and-place ระบบทำความสะอาด และอุปกรณ์จ่ายวัสดุ การปนเปื้อนน้ำมันหรือความชื้นใดก็ตามทำให้เกิดข้อบกพร่องในการประกอบ flux ปนเปื้อน และคุณภาพการบัดกรีล้มเหลว — ทำให้ข้อกำหนดคอมเพรสเซอร์ลมสำคัญต่อคุณภาพสาย PCB ไม่แพ้ผลผลิตเวเฟอร์ fab
- ไม่มีไอน้ำมัน — ไม่มีความเสี่ยงปนเปื้อนปลายทาง
- ลมแห้งพิเศษพร้อมระบบเครื่องทำแห้งดีซิแคนท์ที่จับคู่แล้ว
- การออกแบบการติดตั้งเข้ากันได้กับคลีนรูม
- การทำงาน VSD ประหยัดพลังงาน
- ระบบตรวจสอบคุณภาพลมอัดต่อเนื่องพร้อมใช้งาน
- เอกสารระบบครบถ้วนและ commissioning
ทำไมระบบนี้จึงสำคัญ
ต่ออุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์
การปนเปื้อนอนุภาคทำลายผลผลิตเวเฟอร์
ที่โหนดกระบวนการขั้นสูง อนุภาคขนาดเพียงไม่กี่นาโนเมตรก็เป็นสาเหตุของข้อบกพร่องได้ ละอองน้ำมันจากลมอัดที่ไม่ใช่ปลอดน้ำมันสะสมบนพื้นผิวเวเฟอร์และภายในห้องกระบวนการ ก่อให้เกิดการสูญเสียผลผลิตอย่างหายนะที่ไม่สามารถแก้ไขได้ ระบบลมอัดคุณภาพสูงโรงงานชิปที่สมบูรณ์ซึ่งสร้างบนเทคโนโลยีปลอดน้ำมันขจัดแหล่งปนเปื้อนนี้ทั้งหมด ปกป้องผลผลิตตั้งแต่ระบบสาธารณูปโภคขึ้นไป
เหตุการณ์ปนเปื้อนเดียวในโรงงาน fab คลีนรูมสามารถลดผลผลิตเวเฟอร์จากกว่า 90% ลงเหลือต่ำกว่า 40% — แสดงถึงมูลค่าผลิตภัณฑ์ที่สูญเสียอย่างมีนัยสำคัญต่อเหตุการณ์
ความชื้นกัดกร่อนหน้าสัมผัสและทำให้การยึดติดเสื่อมสภาพ
ความชื้นในลมอัดออกซิไดซ์ metal interconnect สร้างโพรงใน wire bond และส่งเสริมการกัดกร่อนของหน้าสัมผัสโลหะที่เปิดเผย ในระบบนิวแมติกส์ที่ขับเคลื่อนอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์ ความชื้นทำให้วาล์วติดและชุดขับเคลื่อนล้มเหลว ระบบกรองลมอัดสำหรับคลีนรูมอุตสาหกรรมต้องจัดการความชื้นอย่างเข้มงวดพอๆ กับน้ำมัน — ด้วยเครื่องทำแห้งดีซิแคนท์ที่บรรลุ PDP ต่ำกว่า -40°C ที่จุดใช้งาน
จุดน้ำค้างต่ำกว่า -40°C ที่จุดใช้งานขจัดความเสี่ยงความชื้นในทุกการใช้งานกระบวนการ fab — มาตรฐานที่ยอมรับสำหรับลมเครื่องมือคลีนรูมที่วิกฤต
เทคโนโลยี VSD ลดต้นทุนพลังงานโรงงาน
โรงงาน fab เซมิคอนดักเตอร์และโรงงานอิเล็กทรอนิกส์อยู่ในกลุ่มผู้ใช้พลังงานสูงที่สุดในอุตสาหกรรมการผลิต ลมอัดโดยทั่วไปคิดเป็น 15–25% ของการใช้ไฟฟ้าทั้งหมดของสถานผลิต โซลูชันลมอัดประหยัดพลังงานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้เทคโนโลยี Variable Speed Drive เพื่อปรับกำลังการผลิตตามความต้องการจริง — ลดการใช้พลังงานระบบลมอัด 20–35% เทียบกับระบบความเร็วคงที่
การลดต้นทุนพลังงานในลมอัดมีส่วนทำให้บรรลุเป้าหมายต้นทุนการดำเนินงานและพันธะความยั่งยืนในการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ปริมาณสูง
ระบบแอร์คอมเพรสเซอร์ปลอดน้ำมันสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์
ระบบลมอัดเซมิคอนดักเตอร์ของเราครอบคลุมทุกขนาดสถานผลิต — ตั้งแต่โรงงานประกอบ PCB ขนาดเล็กไปจนถึงการติดตั้ง fab เวเฟอร์เต็มรูปแบบที่ต้องการลมอัดความบริสุทธิ์สูงอย่างต่อเนื่อง 24/7
คอมเพรสเซอร์สกรูหมุนปลอดน้ำมัน
แหล่งลมอัดหลักสำหรับโรงงาน fab เซมิคอนดักเตอร์และการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ — รับรองปลอดน้ำมันด้วยความเสี่ยงการปนเปื้อนเป็นศูนย์ตั้งแต่ต้นทาง ไดรฟ์ VSD สำหรับประสิทธิภาพพลังงานในทุกภาระการผลิต
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| ระดับคุณภาพลม | ISO 8573-1 Class 0 |
| เทคโนโลยี | สกรูหมุนปลอดน้ำมัน |
| ไดรฟ์ | Variable Speed Drive (VSD) |
| การใช้งาน | Wafer fab, PCBA, คลีนรูม |
| การตรวจสอบ | ตัวเลือกตรวจสอบไอน้ำมันต่อเนื่อง |
การใช้งาน
คอมเพรสเซอร์สกรอลปลอดน้ำมัน
คอมเพรสเซอร์สกรอลปลอดน้ำมันขนาดกะทัดรัดสำหรับห้องแล็บอิเล็กทรอนิกส์ พื้นที่ทดสอบ และการใช้งานคลีนรูมปริมาณน้อย — เงียบพิเศษด้วยคุณภาพลม ISO 8573-1 Class 0
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| ระดับคุณภาพลม | ISO 8573-1 Class 0 |
| เทคโนโลยี | สกรอลปลอดน้ำมัน |
| เสียงรบกวน | < 60 dB(A) เงียบพิเศษ |
| เหมาะที่สุดสำหรับ | แล็บ ทดสอบ R&D คลีนรูมขนาดเล็ก |
| พื้นที่ติดตั้ง | กะทัดรัด — เหมาะสำหรับติดตั้งในคลีนรูม |
การใช้งาน
คอมเพรสเซอร์แรงเหวี่ยงปลอดน้ำมัน
คอมเพรสเซอร์แรงเหวี่ยงปลอดน้ำมันปริมาณสูงสำหรับโรงงาน fab เซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ — ส่งมอบ ISO 8573-1 Class 0 ที่ 500+ m³/min ด้วยประสิทธิภาพพลังงานดีที่สุดในระดับนี้
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| ระดับคุณภาพลม | ISO 8573-1 Class 0 |
| เทคโนโลยี | แรงเหวี่ยงปลอดน้ำมัน |
| ปริมาณ | 500+ m³/min ต่อเนื่อง |
| เหมาะที่สุดสำหรับ | 300mm wafer fabs, OSAT ขนาดใหญ่ |
| พลังงาน | ประสิทธิภาพสูงสุดที่ปริมาณขนาดใหญ่ |
การใช้งาน
ประโยชน์หลักสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์
ระบบแอร์คอมเพรสเซอร์คลีนรูมไม่ใช่ทางเลือกสำหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง — แต่เป็นข้อกำหนดพื้นฐานสำหรับสภาพแวดล้อมกระบวนการคลีนรูมที่การปนเปื้อนส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตและคุณภาพผลิตภัณฑ์
ปลอดการปนเปื้อนตั้งแต่ต้นทาง
เทคโนโลยีปลอดน้ำมันขจัดความเสี่ยงการปนเปื้อนทั้งหมด ไม่มีตัวแยกน้ำมันที่จะล้มเหลว ไม่มีตัวกรองปลายทางที่จะถูกข้ามผ่าน การรับรอง Class 0 ตรวจสอบที่คอมเพรสเซอร์ ไม่ใช่สันนิษฐานหลังการกรอง
ลมแห้งพิเศษด้วย PDP -70°C
ระบบเครื่องทำแห้งดีซิแคนท์ที่จับคู่แล้วบรรลุจุดน้ำค้างแรงดันต่ำกว่า -70°C — ขจัดความเสี่ยงความชื้นทั้งหมดในลมกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์และระบบจ่ายลมเครื่องมือ
ประหยัดพลังงาน 20–35% ด้วย VSD
คอมเพรสเซอร์ Variable Speed Drive จับคู่กำลังผลิตกับความต้องการลม fab จริง — ลดการใช้ไฟฟ้าได้ถึง 35% เทียบกับระบบความเร็วคงที่ในสภาพแวดล้อมการผลิต 24/7
ตรวจสอบคุณภาพลมต่อเนื่อง
เครื่องวิเคราะห์ไอน้ำมันแบบบูรณาการพร้อมสัญญาณออก 4-20mA และรีเลย์แจ้งเตือนให้การยืนยัน Class 0 แบบเรียลไทม์ — แจ้งเตือนทีมงานก่อนที่การปนเปื้อนจะถึงคลีนรูมหรือเครื่องมือกระบวนการ
การติดตั้งเข้ากันได้กับคลีนรูม
ระบบออกแบบสำหรับการติดตั้งในคลีนรูม — ปล่อยอนุภาคต่ำ แผงสแตนเลส ฐานป้องกันการสั่น และสีเกรดคลีนรูมเป็นมาตรฐานสำหรับสภาพแวดล้อม ISO ที่จัดประเภทแล้ว
การออกแบบระบบครบวงจร
เราออกแบบระบบลมอัดครบวงจร — คอมเพรสเซอร์ เครื่องทำแห้ง ตัวกรอง ท่อ และระบบตรวจสอบ — เป็นโซลูชันแบบบูรณาการสำหรับผังสถานผลิตและโปรไฟล์ความต้องการลมของคุณโดยเฉพาะ
การใช้งานลมอัดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์
ลมอัดทำหน้าที่สำคัญตลอดห่วงโซ่กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ — ตั้งแต่การผลิตเวเฟอร์ front-end ไปจนถึงการบรรจุภัณฑ์ back-end และการประกอบ PCB
ISO 8573-1 Class 0 — ปลอดการปนเปื้อนสำหรับลมกระบวนการทั้งหมดใน fab
ISO 8573-1 Class 0การเป่าล้าง CDA แห้งสะอาดพิเศษสำหรับสภาพแวดล้อมเลนส์และแท่นในระบบลิโทกราฟี
SEMI S2, ISO 14644ลมเครื่องมือแห้งสะอาดสำหรับตัวเปิด FOUP ตัวจัดการเวเฟอร์ และชุดขับเคลื่อนหุ่นยนต์
ISO 8573-1 Class 1ลมแห้งปลอดน้ำมันสำหรับเครื่อง wire bonder เครื่อง die attach และอุปกรณ์ flip-chip
ISO 8573-1 Class 0–1ลมเครื่องมือสะอาดสำหรับเครื่อง pick-and-place การจ่ายวัสดุ และอุปกรณ์ตรวจสอบ
ISO 8573-1 Class 1–2ลมเครื่องมือจุดน้ำค้างต่ำสำหรับตู้ burn-in และระบบทดสอบไฟฟ้า
ISO 8573-1 Class 1วิธีการออกแบบระบบ CDA ครบวงจรสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
คอมเพรสเซอร์ปลอดน้ำมันแบบเดี่ยวคือจุดเริ่มต้น — ไม่ใช่โซลูชันที่สมบูรณ์ การบรรลุและรักษาคุณภาพลม ISO 8573-1 Class 0 สำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อย่างต่อเนื่อง ต้องการชุดบำบัดที่จัดลำดับอย่างถูกต้องซึ่งทุกขั้นตอนออกแบบมาทำงานร่วมกัน นี่คือวิธีที่ระบบลมอัดคุณภาพสูงโรงงานชิปที่กำหนดข้อกำหนดอย่างถูกต้องถูกสร้างขึ้นสำหรับสภาพแวดล้อมคลีนรูม
วิธีเดียวที่เชื่อถือได้ในการรับประกันปริมาณน้ำมันเป็นศูนย์คือการกำหนดข้อกำหนดคอมเพรสเซอร์ที่ไม่มีน้ำมันในขั้นตอนการอัด ไดรฟ์ VSD จับคู่กำลังผลิตกับความต้องการจริงของสถานผลิต — จำเป็นสำหรับการใช้ลมที่แปรผันของโรงงาน fab เซมิคอนดักเตอร์และสายประกอบอิเล็กทรอนิกส์
ตัวกรองขั้นต้นกำจัดน้ำปริมาณมาก อนุภาคขนาดใหญ่ และละอองออกจากลมอัดก่อนถึงเครื่องทำแห้ง ซึ่งปกป้องชั้นดีซิแคนท์จากการอิ่มตัวก่อนเวลา และยืดช่วงเวลาบริการ — ปัจจัยสำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ 24/7
เครื่องทำแห้งดีซิแคนท์แบบดูดซับบรรลุจุดน้ำค้างแรงดันลงถึง -70°C — ต่ำกว่าเกณฑ์ที่ความชื้นทำให้เกิดการกัดกร่อน วาล์วติด หรือการปนเปื้อนกระบวนการมาก สำหรับลมเครื่องมือ fab เวเฟอร์ PDP -40°C คือขั้นต่ำที่ยอมรับ สำหรับการใช้งานที่อยู่ใกล้ลิโทกราฟีมักกำหนด -70°C
ตัวกรองหลังกำจัดฝุ่นดีซิแคนท์ที่เกิดจากเครื่องทำแห้งและอนุภาคซับไมครอนที่เหลืออยู่ ชุดตัวกรองที่กำหนดข้อกำหนดอย่างถูกต้องโดยทั่วไปประกอบด้วยตัวกรอง coalescing และตัวกรองอนุภาคตามลำดับ — นำลมไปสู่ระดับความสะอาดขั้นสุดท้ายที่กระบวนการต้องการ
การตรวจสอบไอน้ำมันต่อเนื่องที่จุดใช้งานยืนยันว่าคุณภาพ Class 0 ได้รับการรักษาในเครือข่ายการจ่าย สัญญาณแจ้งเตือนที่บูรณาการกับระบบจัดการสถานผลิตให้ความมั่นใจแบบเรียลไทม์ว่าเหตุการณ์ปนเปื้อนถูกตรวจจับก่อนถึงเครื่องมือกระบวนการใดก็ตาม
สถานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ดำเนินตารางการผลิตต่อเนื่อง ทุกองค์ประกอบในระบบ CDA ต้องกำหนดข้อกำหนดสำหรับการทำงานไม่หยุดชะงัก — รวมถึงหอดีซิแคนท์สำรอง ความจุคอมเพรสเซอร์สแตนด์บาย และการสลับอัตโนมัติเมื่อมีการแจ้งเตือน
สถานผลิตคลีนรูมและเซมิคอนดักเตอร์ต้องการเอกสารทางเทคนิคครบถ้วนสำหรับทุกระบบสาธารณูปโภค การติดตั้ง CDA ของเรารวมถึงใบรับรองการทดสอบคุณภาพลม บันทึก commissioning และแบบ as-built เป็นผลงานส่งมอบมาตรฐาน
ระบบกรองลมอัดสำหรับคลีนรูมอุตสาหกรรมต้องการการเปลี่ยนตัวกรองสม่ำเสมอและการตรวจสอบประสิทธิภาพเครื่องทำแห้ง เราให้บริการสัญญาการบำรุงรักษาตามแผนพร้อมการทดสอบคุณภาพลมที่ได้รับการรับรอง เพื่อยืนยันการปฏิบัติตาม ISO 8573-1 Class 0 อย่างต่อเนื่องระหว่างช่วงบริการ
กำหนดสเปกระบบลมอัดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ
ทีมวิศวกรของเราออกแบบระบบลมอัดแบบปราศจากน้ำมันสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ โรงงาน PCBA และอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์แบบครบวงจร ตั้งแต่การสำรวจหน้างาน
การออกแบบระบบ การติดตั้ง การทดสอบระบบ ไปจนถึงบริการดูแลรักษาอย่างต่อเนื่องสำหรับโรงงานทั่วประเทศไทย

รับคำแนะนำจากผู้เชี่ยวชาญเมื่อคุณต้องการ ทีมสนับสนุนของเราพร้อมมอบโซลูชันที่เหมาะสมให้กับคุณ


