ท่ออากาศอัด
สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
และอิเล็กทรอนิกส์
ระบบท่อลมอัดความสะอาดสูงทำหน้าที่รักษาคุณภาพลม Class 0 ที่ได้จากคอมเพรสเซอร์และเครื่องทำแห้งต้นทาง ให้คงสภาพตลอดเส้นทางจนถึงเครื่องมือกระบวนการ ตั้งแต่ท่อสแตนเลสสำหรับระบบลมอัดความบริสุทธิ์สูงในโซนคลีนรูม ISO Class 1–5 ไปจนถึงอลูมิเนียมแบบ push-fit สำหรับการกระจายในพื้นที่ sub-fab เราออกแบบและติดตั้งท่ออากาศอัดสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ครบวงจรทั่วประเทศไทย
ทำไมระบบท่อลมอัดความสะอาดสูงจึงสำคัญพอๆ กับตัวคอมเพรสเซอร์เอง
Achieving ISO 8573-1 Class 0 air quality at the compressor is only half the challenge. A compressed air distribution system for chip manufacturing must maintain that purity through every metre of pipework, every fitting and every connection point. Standard galvanised steel pipework introduces particles and rust scale that re-contaminate process air downstream of all filtration — destroying the investment made in oil-free compression and desiccant drying.
การออกแบบท่อจ่ายลมสะอาดสำหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ที่ถูกต้องใช้วัสดุเฉื่อยที่มีรูเรียบ — อลูมิเนียมออกซิไดซ์สำหรับการกระจายคลีนรูมทั่วไป และท่อสแตนเลสสำหรับระบบลมอัดความบริสุทธิ์สูงที่มีพื้นผิวภายใน electropolished สำหรับโซนกระบวนการ ISO Class 1–5 ที่วิกฤต ทั้งสองประเภทขจัดการกัดกร่อน ตะกรันสนิม และการสร้างอนุภาคที่ท่ออุตสาหกรรมมาตรฐานก่อให้เกิดขึ้น
การติดตั้งท่อระบบท่ออากาศอัดโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่สมบูรณ์ออกแบบปลอดท่อตัน มีมุมความลาดที่ถูกต้อง จุดระบาย และการทดสอบแรงดันที่มีเอกสารเมื่อเสร็จสิ้น ระดับเอกสาร commissioning นี้ตรงกับข้อกำหนดการตรวจสอบของโปรแกรมสถานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และให้เส้นทางการตรวจสอบที่ทีมวิศวกรรมกระบวนการของคุณต้องการ
- การออกแบบระบบปลอดท่อตันครบวงจร
- 316L SS สำหรับโซนคลีนรูมที่วิกฤต
- อลูมิเนียม Push-fit สำหรับพื้นที่ GMP/คลีนรูมทั่วไป
- ทดสอบแรงดันและตรวจสอบการรั่วซึมเมื่อเสร็จสิ้น
- เอกสาร as-built ครบถ้วน
- เข้ากันได้กับข้อกำหนดคลีนรูม ISO 14644
ทำไมคุณภาพท่อจึงวิกฤต
ต่ออุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และ เซมิคอนดักเตอร์
ป้องกันการปนเปื้อนซ้ำหลังการบำบัด
ท่ออากาศอัดลม Class 0 สำหรับระบบท่ออากาศอัดโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ต้องใช้วัสดุเฉื่อยที่ไม่สร้างอนุภาค สนิม หรือผลิตภัณฑ์การกัดกร่อน ท่อชุบสังกะสีมาตรฐานจะเริ่มกัดกร่อนภายในไม่กี่เดือนหลังการติดตั้ง — ปล่อยการปนเปื้อนที่ทำลายการกรองต้นทางทั้งหมดและส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตเวเฟอร์
โรงงาน fab เซมิคอนดักเตอร์ที่ปนเปื้อน Class 0 ซ้ำผ่านท่อที่ไม่เหมาะสมได้ผลลัพธ์เดียวกับการทำงานโดยไม่มีการกรอง — ด้วยต้นทุนของระบบคอมเพรสเซอร์ปลอดน้ำมัน
การออกแบบปลอดท่อตันตามมาตรฐานคลีนรูม
ท่อตันในท่ออากาศอัดควบคุมความชื้นในคลีนรูมสะสมการปนเปื้อนอนุภาคและความชื้นที่ควบแน่น — ปล่อยการปนเปื้อนเป็นชุดไปยังกระบวนการปลายทางระหว่างความผันผวนของการไหล ระบบกระจายลมอัดในโรงงานเวเฟอร์ที่ออกแบบอย่างถูกต้องขจัดท่อตันทั้งหมด เพื่อให้ทุกส่วนของระบบการจ่ายยังคงทำงานอยู่และสะอาด
เหตุการณ์ปนเปื้อนจากท่อตันในระบบลมเซมิคอนดักเตอร์ตรวจสอบย้อนกลับได้ยากมาก — การกำจัดท่อตันในขั้นตอนการออกแบบขจัดรูปแบบการปนเปื้อนนี้ทั้งหมดก่อนที่จะส่งผลต่อการผลิต
เอกสาร Commissioning ครบถ้วน
การติดตั้งมาตรฐานท่ออากาศอัดสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ต้องการเอกสาร commissioning ที่ครบถ้วน — บันทึกการทดสอบแรงดัน ใบรับรองการทดสอบการรั่วซึม แบบระบบ และข้อกำหนดวัสดุ การติดตั้งของเราส่งมอบชุดเอกสารครบถ้วนเมื่อส่งมอบงาน สนับสนุนแผนหลักการตรวจสอบ fab และข้อกำหนดการตรวจสอบจากลูกค้า
เอกสาร commissioning สนับสนุนโปรแกรมการตรวจสอบ fab ของคุณ และให้เส้นทางหลักฐานที่จำเป็นสำหรับการตรวจสอบจากหน่วยงานกำกับและลูกค้าในระดับสถานผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ระบบท่ออากาศอัดสำหรับโรงงาน Fab เซมิคอนดักเตอร์
ช่วงท่อเซมิคอนดักเตอร์ของเราครอบคลุมระบบอลูมิเนียมเกรดคลีนรูมและสแตนเลสความบริสุทธิ์สูงสำหรับทุกการจัดประเภทโซน fab — ตั้งแต่พื้นที่กระบวนการ ISO Class 1–5 ที่วิกฤต ไปจนถึงการจ่ายสาธารณูปโภค sub-fab
ระบบท่อสแตนเลส 316L
ท่อสแตนเลสสำหรับระบบลมอัดความบริสุทธิ์สูงที่ผ่าน electropolished สำหรับโซนคลีนรูมที่วิกฤต — รักษาคุณภาพลม ISO 8573-1 Class 0 ด้วยรูเรียบ การออกแบบปลอดรอยต่อ และการตรวจสอบย้อนกลับวัสดุครบถ้วน
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| วัสดุ | 316L stainless steel |
| ผิวสำเร็จ | Electropolished — Ra ≤ 0.8 μm |
| การเชื่อมต่อ | Hygienic clamp or orbital weld |
| เหมาะที่สุดสำหรับ | โซนคลีนรูมวิกฤต Class 1–5 |
| เอกสาร | Material certs + pressure test records |
การใช้งาน
ระบบท่ออลูมิเนียมคลีนรูม
ท่ออลูมิเนียมออกซิไดซ์แบบ push-fit — ท่ออากาศอัดควบคุมความชื้นในคลีนรูมที่ได้รับความนิยมสำหรับพื้นที่ทั่วไปและ sub-fab ติดตั้งรวดเร็ว ไม่ต้องเชื่อม วัสดุเข้ากันได้กับคลีนรูมตลอดระบบ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| วัสดุ | Anodised aluminium |
| การเชื่อมต่อ | Push-fit — no welding required |
| แรงดันใช้งาน | สูงถึง 16 บาร์ |
| เหมาะที่สุดสำหรับ | Class 6–8, พื้นที่ sub-fab |
| การติดตั้ง | ไม่ต้องขอใบอนุญาตงานร้อน |
การใช้งาน
ประโยชน์หลักของท่ออากาศอัดเกรดเซมิคอนดักเตอร์
คุณภาพท่อกำหนดคุณภาพลมขั้นสุดท้ายที่ส่งไปยังกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ — ปลายน้ำจากอุปกรณ์การกรองและการทำแห้งราคาแพงทั้งหมด การเลือกให้ถูกต้องในขั้นตอนการจ่ายปกป้องการลงทุนต้นน้ำทั้งหมด
ปลอดการปนเปื้อนซ้ำหลังการบำบัด
วัสดุเฉื่อยรูเรียบป้องกันอนุภาค สนิม และการเจริญเติบโตของจุลินทรีย์จากการปนเปื้อน Class 0 ซ้ำหลังการบำบัดต้นทางทั้งหมด — ปกป้องผลผลิตจากระบบการจ่าย
การออกแบบปลอดท่อตันตามมาตรฐาน ISPE
ระบบออกแบบโดยไม่มีท่อตัน รอยต่อ หรือโซนที่อากาศนิ่ง — ขจัดจุดสะสมการปนเปื้อนที่ก่อให้เกิดเหตุการณ์การปนเปื้อนเป็นระยะในเครือข่ายลมคลีนรูม
ติดตั้งรวดเร็วไม่หยุดการผลิต
การเชื่อมต่อ push-fit ติดตั้งโดยไม่ต้องเชื่อม ต่อเกลียว หรือขอใบอนุญาตงานร้อน — ช่วยให้ติดตั้งท่อในสภาพแวดล้อมคลีนรูมที่ยังใช้งานอยู่ได้ โดยรบกวนการผลิตน้อยที่สุด
เอกสาร Commissioning ครบถ้วน
Pressure test records, leak certificates, system drawings and material specifications provided for every installation — supporting fab qualification programmes and customer audits.
วัสดุเข้ากันได้กับคลีนรูม
วัสดุทั้งหมดรับรองสำหรับการใช้งานในคลีนรูม — ไม่มีวัสดุที่สร้างอนุภาคหรือ outgassing ที่อาจปนเปื้อนสภาพแวดล้อมคลีนรูมระหว่างการติดตั้งหรือการทำงานระยะยาว
ขยายระบบแบบโมดูลาร์
ระบบ push-fit สามารถขยายและเปลี่ยนเส้นทางได้เมื่อผังสถานผลิตเปลี่ยนแปลง — โดยไม่ต้องตัดหรือเชื่อมส่วนที่มีอยู่ และไม่ขัดจังหวะการจ่ายลมอัดไปยังพื้นที่อื่น
การใช้งานท่อในสถานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และ อิเล็กทรอนิกส์
ความต้องการการจ่ายลมอัดแตกต่างกันตามการจัดประเภทโซนคลีนรูม วัสดุท่อและมาตรฐานการออกแบบที่ถูกต้องสำหรับแต่ละโซนกำหนดโดยระดับคุณภาพลมที่ต้องการที่จุดใช้งาน
316L SS Electropolished — ปลอดการปนเปื้อนซ้ำสำหรับการจ่ายลม Class 0
ISO 14644, Class 0 airอลูมิเนียม push-fit — การจ่ายที่สะอาด รวดเร็ว และคุ้มค่า
ISO 14644, Class 1 airRing main อลูมิเนียมสำหรับการจ่ายอุปกรณ์สาธารณูปโภคและสนับสนุน
ISO 8573-1 Class 1–2อลูมิเนียมคลีนรูมสำหรับการจ่ายลมในสายการผลิต PCBA
ISO 8573-1 Class 1–2316L SS สำหรับการเชื่อมต่อลมเครื่องมือวิกฤตไปยังเครื่องมือกระบวนการ fab
เข้ากันได้กับ SEMI S2การขยาย push-fit อย่างรวดเร็วของระบบที่มีอยู่โดยไม่รบกวนการผลิต
ข้อกำหนดสถานผลิตวิธีการออกแบบระบบท่ออากาศอัดเกรดเซมิคอนดักเตอร์
ออกแบบระบบท่ออากาศอัดสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ไม่ใช่เพียงแค่การเลือกวัสดุ ผังการวาง โทโพโลยี ความเร็วการไหล การตกแรงดัน และมุมความลาดของระบบการจ่ายล้วนส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพลมที่ส่งไปยังทุกจุดเชื่อมต่อเครื่องมือกระบวนการ นี่คือหลักการวิศวกรรมที่แยกระบบกระจายลมอัดในโรงงานเวเฟอร์ที่ออกแบบอย่างถูกต้องออกจากการติดตั้งอุตสาหกรรมมาตรฐาน
ผังแบบ ring main — ที่ท่อจ่ายก่อตัวเป็นวงปิดรอบสถานผลิต — ส่งลมไปยังทุกจุดต่อพ่วงจากสองทิศทางพร้อมกัน ซึ่งปรับสมดุลแรงดันในทุกจุดเชื่อมต่อ ขจัดส่วนท่อปลายตัน และรับประกันว่าการอุดตันหรือการปิดวาล์วเดียวจะไม่ขัดจังหวะการจ่ายทั้งเครือข่าย การออกแบบ ring main คือแนวปฏิบัติที่ยอมรับสำหรับระบบท่ออากาศอัดโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ความต่อเนื่องของกระบวนการมีความสำคัญวิกฤต
แม้จะมีลมอัดที่ทำให้แห้งอย่างถูกต้อง การแปรผันของอุณหภูมิตามเครือข่ายการจ่ายอาจทำให้เกิดการควบแน่นที่จุดต่ำ ระบบกระจายลมอัดในโรงงานเวเฟอร์ที่ออกแบบถูกต้องจะมีความลาดขั้นต่ำ 1–2% ไปทางจุดระบาย เพื่อให้คอนเดนเสทระบายออกจากการเชื่อมต่อกระบวนการแทนที่จะสะสม ทุกส่วนของท่อออกแบบให้ยังคงทำงานอยู่ — ท่อตันที่อากาศนิ่ง ความชื้นสะสม และการปนเปื้อนสะสมได้ ถูกกำจัดในขั้นตอนการออกแบบ
ความเร็วการไหลที่มากเกินไปในท่ออากาศอัดควบคุมความชื้นในคลีนรูมสร้างความปั่นป่วนที่ทำให้การปนเปื้อนผนังท่อหลุดออกและเพิ่มการสูญเสียพลังงาน ความเร็วที่ต่ำเกินไปทำให้อนุภาคและความชื้นตกตะกอนแทนที่จะถูกพัดพาไปยังจุดระบาย สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ความเร็วการไหลในการออกแบบโดยทั่วไปรักษาไว้ที่6–10 m/s ในท่อหลัก และต่ำกว่า 3 m/s ที่จุดเชื่อมต่อสาขา การคำนวณการตกแรงดันรับประกันว่าทุกเครื่องมือกระบวนการได้รับแรงดันที่เพียงพอโดยไม่ต้องขยายคอมเพรสเซอร์ให้ใหญ่เกิน
วัสดุที่ถูกต้องสำหรับแต่ละโซนของระบบท่อลมอัดความสะอาดสูงกำหนดโดยการจัดประเภทคลีนรูม ISO และระดับคุณภาพลมที่ต้องการที่จุดนั้น ท่อสแตนเลสสำหรับระบบลมอัดความบริสุทธิ์สูงแบบ electropolished ที่มีผิวสำเร็จ Ra ≤ 0.8 μm กำหนดสำหรับโซนวิกฤต ISO Class 1–5 — ให้พื้นผิวภายในที่เรียบที่สุดเท่าที่เป็นไปได้ด้วยการกักเก็บอนุภาคน้อยที่สุด ระบบ push-fit อลูมิเนียมออกซิไดซ์เหมาะสำหรับ ISO Class 6–8 และพื้นที่ sub-fab ที่การติดตั้งอย่างรวดเร็วโดยไม่ใช้เครื่องมือเป็นสิ่งสำคัญ
ทุกโครงการท่อเริ่มต้นด้วยการสำรวจสถานผลิตที่ครอบคลุมความต้องการลมอัดที่แต่ละจุดใช้งาน โครงสร้างพื้นฐานที่มีอยู่ การจัดประเภทโซนคลีนรูม และแผนการขยายในอนาคต — เพื่อให้มั่นใจว่าการออกแบบการจ่ายตรงกับความต้องการปัจจุบันและอนาคตของสถานผลิต
ติดตั้งระบบท่ออากาศอัดโรงงานชิปทุกระบบจะถูกทดสอบแรงดันที่ 1.5 เท่าของแรงดันใช้งานเมื่อเสร็จสิ้น พร้อมการทดสอบการรั่วซึมแบบจับเวลาเพื่อยืนยันความสมบูรณ์ของระบบก่อนส่งมอบ บันทึกการทดสอบเป็นส่วนหนึ่งของชุดเอกสาร commissioning
แบบ as-built ครบถ้วน ใบรับรองวัสดุ บันทึกการเชื่อม (ในกรณีที่เกี่ยวข้อง) รายงานการทดสอบแรงดัน และเอกสารการลงนาม commissioning ให้ไว้เมื่อส่งมอบโครงการ — สนับสนุนแผนหลักการตรวจสอบสถานผลิตและโปรแกรมการบำรุงรักษาระยะยาว
ออกแบบระบบท่ออากาศอัดเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ
ผู้เชี่ยวชาญท่อของเราสำรวจผัง fab ออกแบบระบบการจ่ายที่เหมาะสม และส่งมอบเอกสาร commissioning ครบถ้วนสำหรับสถานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณในประเทศไทย

รับคำแนะนำจากผู้เชี่ยวชาญเมื่อคุณต้องการ ทีมสนับสนุนของเราพร้อมมอบโซลูชันที่เหมาะสมให้กับคุณ


